기체 유량계/스위치/PF2A
적용예
리드 프레임 산화방지용, 검출 카메라의 흐려짐 방지용 N2가스의 유량관리
웨이퍼 온조, 고주파 전원 냉각수의 유량관리
건가압 냉각수의 유량관리
메인라인에서 각 설비라인까지의 에어 유량관리
1대의 콘트롤러로 4대분의 유량 관리가 가능