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압력센서/PUH

압력센서/PUH/반도체장비용 Ultra High Purity(UHP

압력센서 PUH 모델은 압력접촉부가 스테인레스 316L(VIM+VAR)재질로 최대표면조도 Ra10으로

EP처리되어 있고 VCR피팅부와 압력셀을 용접하여 리크의 우려가 없는 구조이므로 반도체제조에

필요한 가스 및 유체의 압력을 측정에 적합합니다.

- CE인증
- 정밀도 0.25%FS
- 4~20mA 2선식 출력
- 고성능 디지털신호처리회로 내장
- 고안정형 압력셀 구조
- 압력접촉부 : EP처리 스테인레스 316L(VIM+VAR)재질

- 반도체 장비
- 밸브 매니폴드 박스(VMBs)
- 가스판넬
- 가스캐비넷

게이지압	0~100, 200, 250, 500, 3000 psi

정밀도 영점온도특성 출력온도특성 보상온도범위 사용온도범위	±0.25%FS(RSS) ±0.03%FS/℃ ±0.03%FS/℃ -20~60℃ -40∼100℃

공급전원 출력 절연저항 출력단 형태	10~30 VDC 4~20mA(2선식) 50㏁ @250VDC 케이블

허용압력 파괴압력 나사규격 표면처리 압력매체접촉부재질 중량	최대200%FS 최소400%FS Single end 9/16-18UNF VCR Swivel Male Nut Flow through 9/16-18UNF VCR Fixed Male Nut EP, Ra ≤ 0.18㎛(Ra7) ; 최대 Ra ≤ 0.25㎛(Ra10) 스테인레스스틸 316L VIM+VAR 약 210g (Single end형 기준 / 케이블2m포함)