상세설명
Cylinder의 Water 가압 힘제어
PSV1 type의 Servo Valve는 PLC, PC로 부터 명령치(0~10V, 4~20mA)를 받아 명령치에 상응하는 제어된 압력을 스프링이 내장된 실린더에 공급한다. 실린더가 Wafer를 누르는 힘을 일정하게 유지할 수 있도록 PSV1 Servo Valve의 내장된 압력센서에서 압력을 감지하여 정밀하고 일정한 압력을 유지함으로서 실린더의 누르는 힘을 정밀하고일정하게 유지한다.
