상세설명
정밀 진공 서보 압력 제어
PLC, PC에서 명령치(0~10V, 4~20mA)를 진공 PSV2 type의 Servo Valve가 받아 진공 압력을 제어하며 Tank 내의 진공 압력을 유지한다. 이때 제어된 진공 압력을 진공 압력 센서가 감지하여 감지값을 진공 PSV2 type의 Servo Valve로 Feedback 시킴으로써 Tank내의 대기압이 흡입되더라도 Tank내의 진공도를 명령값에 맞추어 보상, 유지함으로써 정밀 진공 압력 제어를 할 수 있다.
