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모델명 GA2600-Z

제품분류 산업용로봇/데스크탑로봇

업체명 (주)서진엔지니어링

전화번호 0504-0667-5050

등록일 16.03.25

GA2600-Z Edge Grip식 Aligner

위치결정정밀도	Centering 위치 정밀도 ±0.2mm 이내
	Notch 위치 정밀도 ±0.1° 이내
위치결정시간	7초 이내
반송대상	Ф150mm silicon wafer, Ф150mm Glass wafer
클린도	ISO 2등급
전원/압공	DC24V / 0.5Mpa
질량	10kg