상세설명
WR2154-300 방수 대응 Dual Arm Robot
| R축 | θ축 | Z축 | |
| 반송속도 | 508mm/sec | 180°/1.2sec | 300mm/1.6sec |
| 동작범위 | 508mm/108mm | 330° | 300mm |
| 반송대상 | Ф150mm, Ф200mm, Ф300mm silicon wafer 대응 | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
| 전원/진공 | DC24V / 19A | ||
| 질량 | 45kg | ||
WR2154-300 방수 대응 Dual Arm Robot
| R축 | θ축 | Z축 | |
| 반송속도 | 508mm/sec | 180°/1.2sec | 300mm/1.6sec |
| 동작범위 | 508mm/108mm | 330° | 300mm |
| 반송대상 | Ф150mm, Ф200mm, Ф300mm silicon wafer 대응 | ||
| 반복 정밀도 | ±0.1mm 이내 | ||
| 전원/진공 | DC24V / 19A | ||
| 질량 | 45kg | ||