*장치개요본 장치는 티타늄코일을 진공상태에소 균일하게 가열하여 소둔하는것을 목적으로 한다.*구성 .chamber size: 1800 x 1700(H) .system size: 5000(W) x 4000(D) x 4300(H) .Door left up-down type .가압: (사용 0.5torr)--Ar gas .작업 진공도: 8 x 10-5 torr