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모델명 i-Geminus (Dry Ethcher : 건식 식각

제품분류 IC/반도체부품/클린룸

업체명 디엠에스

전화번호 0504-0667-8034

등록일 15.01.07

건식 식각 장비는 반도체 웨이퍼 위에 있는 미세 회로(패턴) 가운데 불필요한 절연막 부분을 플라즈마를 이용해 제거하는 장비입니다.

: Etch Rate Non-Uniformity : Minimum 1% : 99% 이상의 식각 균일도를 유지합니다.; Excellent CD Control : Under 2nm; 타사 장비 대비 운영비용 절감; Fastest Recovery Time