상세설명
| Microwave Ion Plasma Source and RHEED gun [ARIOS Inc. Japan] |
| ARIOS사는 아래와 같은 다양한 프라즈마 및 진공 응용 제품을 공급하고 있습니다 1.Plasma Source a)Microwave Radical Source (ERMS-211Q) b)Microwave Ion Source (EMIS-221C) c)Microwave Ion/Radical Source (IMIS-211Q) d)초소형 Microwave Plasma Source (SMPS-201) e)RF Radical Source (IRFS-503) f)RF Plasma Source (ERFS-500) g)평면 Plasma Source h)이그나이터 2.고주파 콤포넌트 a)1KW Microwave Power Supply (MP-102) b)500W Microwave Power Supply (MP-102) c)RF Power Supply (300, 500, 1000W) 3.각종장치 a)Microwave 프라즈마 실험장치 b)RF 프라즈마 실험장치 c)대기압 프라즈마 실험장치 a)고주파 다이아몬드 CVD장치 b)진공어닐장치 c)이온주입장치 d)프라즈마CVD장치 e)초진공챔버 4.계측-분석 a)랑뮈어프로브 Unit b)Current Indicator |
