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수직화학동박막 두께측정기
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모델명 SR 두께 측정기
제품분류 검사.시험기.계측기 기타
업체명 (주)다솔이엔지
전화번호 0504-0667-7917
등록일 14.10.17
상세설명

수직화학동박막 두께측정기

SR 두께 측정기

PSR공정에서 SR 인쇄 전/후 제품의 완성 두께 측정 장비


사양

  • Base Table Probe Frame : 재질 화강암, T 150mm 이상, 평탄도  ±3um
  • 측정영역 : 405(W) x 510(L) mm, 415(W) x 510(L) mm, 제품의 Dummy를 제외한 전 영역
  • 측정방식 : 제품 테이블 이동 후 프로브 측정, 접촉식 변위센서로 상하 이동하여 측정 
  • X,Y 로봇 : Ball Screw Servo Motor
  • 정격전압[V] : 단상 2선식 220V ± 10%
  • 소비전력[kw] : 2 kw
  • Air 공급압력 : 5 kgf/㎠
  • Senso Probe : Solartron LE/S(IP50), Accuracy : ±0.4um, Repeatability :±0.1um
  • 측정능력 : 게이지 블록 0.1/0.3mm 또는 Probe Maker 제공시편 기준, Accuracy : ± 2um, Repeatability : ± 1um
  • T/T : Point 당 3sec 이내 44 Point 기준 150 sec 이내

Size

- 1500(Width) x 1500(Length) x 1800(Height)

Weight

- 1500kg