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모델명 반도체용 스퍼터 장치

제품분류 IC/반도체부품/클린룸

업체명 (주)에스에프에이

전화번호 0504-0667-7884

등록일 14.10.01


반도체용 Metal 전극을 증착하는 클러스터 방식의 스퍼터

- 기판 Size : 300mm - 고효율 Target Efficiency의 Magnetron Cathode 적용

공정장비영업3팀 김형보 부장 041-539-6935 khb@sfa.co.kr 다양한 반도체용 금속 증착 연구용 스퍼터링 장비 (금속 또는 TCO 증착) 플라즈마 제어 기술 고진공 관련 (흡기/배기) 기술 기판 고속 이송 기술 열 유동 제어 기술 전자기장 해석 기술 반도체 용 Metal (Ti, Cu) 증착 기판 Size : 300mm Tact Time : ≤ 45sec/substrate Target Efficiency : ≥ 30% Film Uniformity : ≤ ±3% Throughput : ≥ 55wafer/hr