상세설명
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| 고효율 대면적 태양전지 제조용 스퍼터 장비로서 광흡수층, 투명전극, 후면전극 등을 증착하는 인라인 형태의 스퍼터 |
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| - 기판 Size 1100X1400mm (5세대급) 대응 - 고효율 Target Efficiency의 Magnetron Cathode 채용 (Scanning Type, Rotatable Type) - 고속 기판 이송 속도를 통한 생산성 향상 |
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공정장비영업2팀 정인수 과장
증착하는 장치
- Tact Time : ≤ 45sec/substrate - Target Efficiency : ≥ 40% (Scanning), ≥ 70% (Rotatable) - Film Uniformity : ≤ ±5% - Temperature Uniformity : ≤ 10℃ |
