상세설명
C4F6 [육불화부타디엔 / Cas No 685-63-2]
용도:반도체 에칭가스
·반응성: 상온 상압에서 안정함.
·피해야 할 조건: 열, 화염, 스파크 및 기타 점화원 등 가연성 물질과 접촉 피할것
·혼합금지 물질: 알카리금속, 가연성 물질, 금속, 산화제
·위험한 분해생성물: 열분해생성물 또는 연소 생성물 (산 할로겐화 화합물)
·중합 반응: 중합하지 않음. 
·폭발 위험 : 용기가 열에 노출되면 파열되거나 폭발할 수도 있음.
·화재 위험 : 가연성 가스 .gif){kind=small}
·47L cyl (25kg/cyl)
