키워드 : HF분석,ISE분석,CMP공정,이온선택전극,CMP슬러리,농도계,반도체 CMP,Slurry H2O2,온라인 농도계, 과수측정, H2O2측정

반도체용 온라인 Chemical 농도 측정기

 SemiChem APM (Advanced Process Monitor) Floormount

 기존 SemiChem4102, DSP Model 의 Upgrade 신규 Model

 Slurry 또는 혼합 Chemical 내에 구성 성분의 농도를 측정하는 장비, 최대 4가지 성분의 농도 측정이 가능함.


 Advantages

  Increased tool throughoutput

  Decreased chemical costs

  Real-time Process Monitoring

  Insurance against batch loss

  Improved cost of ownership