ATM SHIM Gauge는 PIRANI와 Piezo Sensor가 연동하여 작동합니다.
Piezo Sensor를 사용하여 가스밀도에 영향을 받는 1Torr 이상에서 보다 정밀한 진공도를 확인할 수 있습니다.

• Measurement Range:1500 ~ 1.0E-3Torr
• Gas Calibration : Air or N2
• Bake Out Temp : 100℃ in Air Vacuum
• Cable : 9pin D-Sub Connector, Multi Conductor Shield Cable
• Cable length : 3m(Standard), 50m(Maximum)
• Fitting : 1/8 NPT, NW16, NW25, 15m O.D, 1.33" CF, 2.75"CF, 1/4" VCR
• Gauge Axis must be horizontal to provide accurate measurement above 1 Torr