Kionix의
capacitive accelerometer는 MEMS기술을 이용하여 single-crystal silicon으로 만들어집니다. Silicon
sensor element는 industry-standard packaging으로 만들어집니다. 특히 “DRY” etching process를
사용하여 제조공정(Mask Step)을 대폭 줄였으며, 깊은 Trench Etching(30um)으로 Aspect ratio를 15~30까지로
높였으며, Single Crystal Silicon을 사용하는 Kionix의 기술은 주위 온도변화에 대한 보상회로를 사용하지 않아도 되므로 매우
경제적인 제품을 제공합니다.
높은 sensitivity, 낮은 노이즈, 안정된 offset, 온도에 대한 안정적인
sensitivity, 자동차 그리고 산업용 application에 대한 높은 충격에 대한 내구성 등을 특징으로 합니다.
Kionix의 low-g accelerometer는 기울기(tilt)의 정밀한 측정을 위하여 사용될 수 있습니다. 동작 감시와
drop-detection application은 알고리즘들과 interrupt output을 내장하고 있는 Kionix
accelerometer를 가지고 실행될 수 있습니다. Gyro sensor 2축 ,3축 자료 추가 되었습니다.