상세설명
▣ Wafer Transfer Robot으로, 웨이퍼 사이즈 300mm까지 대응이 가능합니다.
▣ Single Arm과 Double Arm 채용이 가능합니다.
▣ Z축은 350mm 까지 대응 가능하며, R축은 600 mm까지 대응 가능합니다.
| Model | 동작자유도 | Payload | Wafer Size | DOWNLOAD | |||
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| DWG | STP | JPG | |||||
| DST | 3 | 20Kg |  |
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| DWR | 3 | 1Kg | ~300mm | |
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