상세설명
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 루츠형
진공펌프 루츠 메커니즘의 진공펌프는 펌프 내에 쌍으로 이루어진 땅콩모양의 두개의 회전자가 서로 반대 방향으로 맞물려 회전하면서 흡입구로부터 배기구로 압축된 가스를 배출하는 시스템입니다. 즉 로터가 회전함에 따라 흡입된 가스는 배기구로 나가게 됩니다. 루츠형 진공펌프는 저진공 영역에서 고효율의 능력을 발휘합니다. 또한 루츠형 메커니즘이 적용된 부스터 펌프는 3000 m3/hr 이상의 고속 및 0.01mbar에서 50mbar사이의 중진공이 필요한 영역에서 가장 선호되고 있습니다. Mechanical Boosters는 진공펌프를 고속으로 구동할 때 특히 다른 진공펌프를 사용함에 따라 동력의 제한적 사용이 필요할 때 등 다양한 형태로 사용될 수 있습니다. 또한 부스터 펌프를 단독으로 사용하는 경우에는 고진공 상태의 유지에 변이가 생길 수 있어 Backing Pump를 사용해야 합니다. EH 시리즈 펌프는 강한 내부식성을 가지고 다이내믹한 균형이 유지되는 회전자와 정밀하게 수평이 유지되는 기어들은 부드럽고 조용하며 진동이 없는 진공펌프로서의 능력을 수행하게 해 줍니다. 최첨단의 Shaft-Seal 기술은 공정내 진공 Chamber의 오염을 원천적으로 차단하고 또한 부식의 가능성이 있는 By-pass Line도 필요 없으며 막힘의 위험이 있는 밸브의 사용도 없게 해줍니다. 펌프의 각 공정별 용도에 따라 성능의 개선을 위해 흡입구 먼지 제거 필터, Backing Pump를 위한 Oil Mist 필터, 펌프 내부로 유입 가능한 용제들을 거르기 위한 흡배기구 Catch-pot 등을 옵션 악세서리로 장착할 수 있습니다. | ||||||
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