상세설명
| 적용 분야 | Wafer FAB공정 |
|---|---|
| 소재요구사항 | ? 극미량 Outgas(VOC, Organic Hydrocarbons) - BHT, Svrene, Benzene, Toluene, Xvlene, NVR, No Silicone ? 탁월한 Cleanliness(F, Cl, NO₂, B₁, PO₄,SO₄,NH₄) ? 유해화학물질비사용, RoHS준수 ? 선택적파장에 의한 UV차단 (필요 시) ? 우수한 투명성 ? 영구 대전방지 (ESD)기능 (E5-11 ohm/sq) ? Static Decay Performance, Low retained voltage ? 입자 발생 최소화, 내마모성 ? 내구성 ? 치수안정성 ? 필요 시 IDP, ICP, CF, CB, CNT 적용 가능 |
