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Excimer Laser
가격 가격협의
모델명 Various wave length and energy
제품분류 레이저가공기
업체명 레이저앤피직스
전화번호 0504-0667-6346
등록일 13.12.17
상세설명
Excimer Laser
Excimer Laser
Various wave length and energy
 

 

Model

EKF-000

ECL-000

EAF-000

Wave length

248 nm

308 nm

193 nm

  Gas

 KrF

XeCl

ArF

   Repetion rate(Hz) 

50, 100, 500, 1000

Energy/pulse (mJ)

10, 30, 50, 100. 500, 1000

 Cooling

1st water, 2nd air or water

Weight

chamber :  ≤ 100 kg

 Dimension

 723(L) x 244(w) x 194(H)

 

  

- Excimer laser for semiconductor exposure step
- Applied to LCD production line.