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폴리싱패드
가격 가격협의
모델명 폴리싱패드
제품분류 연마기,바렐기
업체명 대양하이테크
전화번호 0504-0667-6972
등록일 13.11.05
상세설명

반도체 CMP PAD
최첨단 반도체 디바이스 제조 공정에서는, 다층 배선화를 진행하고 있습니다.
그 기술에 크게 공헌하고 있는 것이 화학적 기계평탄화(Chemical Mechanical Polishing/Planarization)입니다.
MIPOX에서는 지금것 보다 더욱 미세화한 반도체 디바이스용 CMP 연마 패드를 각 프로세스마다 개발, 제조 하고 있습니다.
반도체 제조 공정은 . MIPOX의 자랑인 [나노],[옴스트롱] 의 세계에각종 초정밀 연마의 경험을 살려 반도체의 평탄화에 공헌하고 있습니다.
용도
- 산화막CMP(STI, ILD, BPSG)
- 메탈 CMP(W, Cu)
- 버프 연마
- 실리콘 wafer 연마
 
 
광 파이버용 패드
다심용 연마에 최적 조합