Clean Room type ISC Ball bear 은 모든 FPD 제조 장치에 사용이 확대되고, Glass 기판의 새로운 위치 결정 방식으로서 전 세계 고객에게 사용되고 있습니다. LCD 후(後)공정으로 시작된 것이 지금은 모든 처리 공정에서 사용 되고 있습니다. 그 중에서도 최근 압도적으로 사용 실적이 늘어 났으며, 전(前)공정으로 대표되는 각 처리 장치의 Glass 위치 결정부 입니다. 매우 엄격한 조건이 부과되는 처리공정을 하기 위해 종래의 생각만으로는 대응이 어렵고 사용하는데 까지는 여러가지 난문(難問)이 있습니다. 듀퐁TM의 Vespel® 제품이나 AZ Electronic material의 제품의 PBI®로 대표되는 고 기능 수지재료 메이커의 협력을 받아 ISB독자의 ISC Ball bear Clean화 및 세계적으로 유례없는 Ball bear 을 대응 하고 있습니다. 종래의 Glass위치 결정 방식의 처리 장치에 새로운 부가가치와 최종 판넬 메이커의 제품 비율 향상을 실현하는 ISB Ball bear는 날마다 진화하고 있습니다. Clean Room type의 사용 용도의 기본을 Clear 한 현재, 다음의 Stage로서 한층 더 사용하기 쉬운 경제성과 고성능을 모든 고객에게 제공할 수 있도록 ISC Ball Bear 는 성형(成型) 제품의 개발을 시작하였습니다. Panel 메이커의 고객 중심의 생각을 기본으로 해, 각 처리 장치 메이커의 특징에 대응한 독자적인 제품 구조에 의해, 고객 맞춤형 제품을 제공하겠습니다. 2002년부터 Clean Room type Ball bear 의 개발을 시작하여 이후 각종의 FPD 제조에 관계에 있는 모든 고객으로부터 문의가 있으며 보다 엄격한 요구의 대처에도 순조롭게 진행되고 있습니다.
Ball bear ISC 시리즈 <특허등록 완료>
1. PANPEL 메이커의 양산 라인에 세계 처음으로 사용된 ISC Ball bear는 모든 FPD 제조 라인에 사용이 확대되고 있습니다.
2. 후(後)공정에서의 사용을 시작으로 G6,G7,G8과 GLASS 기판의 사이즈가 급속이 대형화하는 중 GLASS기판의 핸들링이나 각 처리 공정에서의 위치 결정부분에서 많은 문제가 발생, 현재 상태의 핀 방식에 따른 Alignment를 개선해 신뢰성의 높은 신기술이 필요하게 되었습니다.
ISC BALL BEAR의 사용 이점
1. ISC Ball bear의 방식을 사용함에 따라 핀 방식의 약 1/10의 마찰 저항치에서 휘어져 버리는 대형 GLASS 기판을 본래의 의도한 대로의 위치 결정이 가능하게 되었습니다.
2. 미끄러 가는 방식에 비해 굴러가는 방식의 ISC Ball bear는 장기적으로 안전한 저 마찰저항으로 GLASS 기판의 Alignment가 가능합니다.
3. 미끄러져 가는 방식에서의 마찰 저항 증대에 따라 GLASS기판이 깨지는 일이 있지만 굴러가는 방식의 ISC Ball bear는 이 점이 상당히 보완되어지며,Loader Unloader部나 각 처리 공정에서의 문제점 개선이 가능합니다.
4. 굴러가는 방식의 ISC Ball bear은 각 처리부의 위치결정 속도가 비약적으로 향상됩니다.
5. 접촉부의 마모의 문제 때문에 교환 작업이 필요했지만, 굴러가는 방식의 ISC Ball bear은 이런 문제를 개선하였습니다.
ISC BALL BEAR의 특징
1. GLASS 기판에 기스를 발생하지 않는 듀퐁TM 베스펠® 제품을 처음으로 PBI® 등 PEEK를 대표하는 각종 엔지니어링 플라스틱을 채용 함.
3. 절삭에 따른 고정도(精度)의 ISC Ball bear 더하게 되어 재료의 선택하는 것이나 ISB Clean化 테크놀러지를 탑재하면서 대폭의 원가 절감을 실현했고 각 종 성형품(成型)을 새롭게 라인 업 시켰다.
4. 크린 팩의 표준 사양을 더하여 ISB 세정을 새롭게 라인 업.
5. 200℃ 이상의 고온 환경이나 진공 Chamber 안, 각 부의 Loader·Unloader 빛 반사에 민감한 광학측정기, 원판 Glass절단, 각종 용도에 대응한 특수 제품 또한 대응이 가능합니다.
6. 클린룸에서 사용하는 초소형 ISC볼 베어링도 대응 가능합니다.
위치 결정 Stage ILG 시리즈 <특허등록 완료>
각 공정에 있어서 버퍼(baffa)부에서 GLASS기판 반송용 cassette를 단순하게 위치 결정하는 Stage unit 입니다. G7,G8급에 대응한 대형 타입이나 종래 규모의 제조 라인 개선용에 대응한 소형 타입등 전 세계적으로 사용이 확대되고 있습니다. 부드럽게 전 방향에 이동이 가능한 ILS Stage unit는 Ball bear를 사용했던 종래의 기계를 비교해 compact에도 불구하고 큰 하중을 받는 것이 가능하며 Smooth 한 움직임으로 cassette을 위치 결정 할수 있습니다. 위치 결정 완료 후, AGV에 따라 cassette 주고 받은 후의 무 부하 상태에는 가동부가 원점으로 복귀하고 다음의 cassette를 기다립니다. 또한 가동부를 홀드시키는 것이 가능한 S 타입도 준비하고 있습니다.
Air ball lifter ISR-C 시리즈 <특허등록 완료>
종래의 에어 볼 리프터를 기본으로 Clean化를 추진. 각종 반도체, FPD 제조 장치 내부에서의 위치 결정 이나 범용 치구, 또는 Clean room내에 있어서 각종 중량 unit의 반송, 위치 결정 스테이지의 폭 넓게 고객의 대응에 가능한 unit 입니다. 보다 엄격한 고객의 대응 할 수 있는 특별 사양도 제작합니다.