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Used Pump
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모델명 iL Series
제품분류 진공펌프/에어펌프
업체명 (주)배큠이엔지
전화번호 0504-0667-6260
등록일 13.10.22
상세설명


제.품.명
 iL Series
브.랜.드
 Used Pump
반도체 및 LCD 제조 공정에 널리 사용되는 건식 진공 펌프

- 세계 최고의 시장 점유율 확보
- 공정 부산물과 입자 처리를 최적화한 구조
- 높은 배기량
- 적은 유지 비용
- Compact한 디자인



모델iQ40iQ80iQ40/250iQ80/500iH80iH600iH1000iL70
유효배기속도(m3/h)5596290460103600100084
최고도달진공도(mbar)3x10-21x10-22x10-37x10-41x10-27x10-41x10-33x10-2
흡입구 규격ISO40
Bolted
ISO63
Bolted
ISO100
Bolted
ISO63
Bolted
ISO100
Bolted
ISO100
Bolted
ISO63
Bolted
배기구 규격NW90
모터용량(kW)2.24.0(iQMB250) 2.2(iQMB500) 2.23.56.16.12.4
무게(kg)186216313346240395410230
오일용량(l)0.4(iQMB250) 1.63(iQMB500) 1.630.71.41.40.