상세설명
FPD 유리 기판 반송용의 크린 로봇은,
수직다관절형의 MOTOMAN-CR시리즈, 수평 다관절형의 CSL, CSP 시리즈로 구성하고 있습니다.
고속·고정밀도 반송외, 소형으로부터 제9 세대 사이즈초과의 대형 유리 기판의 반송에 대응할 수 있습니다.
FPD 유리 기판 반송용의 크린 로봇은,
수직다관절형의 MOTOMAN-CR시리즈, 수평 다관절형의 CSL, CSP 시리즈로 구성하고 있습니다.
고속·고정밀도 반송외, 소형으로부터 제9 세대 사이즈초과의 대형 유리 기판의 반송에 대응할 수 있습니다.