상세설명
Features & Benefits
다양한 Batch Application
- Alkaline / Acidic texturing / Oxidation
- pSC1 / SC2 / O3 cleaning
- TOPCon, PERC, HIT
최대 생산량
- 600 wafers load
- up to 12,000 w/h
Wafer 크기
최대 M12 (210 x 210mm)
높은 dosing 정확도
+/- 2%
Metal 성분 제로
완벽 건조
