상세설명
배기량 : 9 mm (13 °)
분해능 : 2 nm (0.05 μrad)
반복성 : ± 200 nm (± 0.05 μrad)
옵티컬 인크리멘탈 엔코더
정지 상태에서 자동 잠금
최대 속도: 8 mm/s (7 °/s)
배기량 : 9 mm (13 °)
분해능 : 2 nm (0.05 μrad)
반복성 : ± 200 nm (± 0.05 μrad)
옵티컬 인크리멘탈 엔코더
정지 상태에서 자동 잠금
최대 속도: 8 mm/s (7 °/s)