스틱 슬립 구동

초음파 구동

크기 : 40 x 31 x 15 mm

적재 능력 : 0.1 kg

축 방향 오차 : < 0.5 μm

방사형 오차 모션 : < 1 μm

Xeryon은 다양한 압전 구동 정밀 회전 스테이지를 제공합니다. 회전 단계의 오차 운동은 방사형, 축 방향 및 기울기 방향에서 매우 작습니다. 이것은 우리의 단계를 시장에 가장 정확한 압전 회전 단계로 만듭니다. 회전 각도는 무제한이며 통합 광학 엔코더를 통해 제어할 수 있습니다. 이를 통해 정확한 폐쇄 루프 분해능과 낮은 반복성을 보장합니다.

스틱 슬립 구동 회전 스테이지(XRT-A)와 초음파 구동 회전 스테이지(XRT-U) 중에서 선택할 수 있습니다. 당사의 모든 정밀 회전 단계는 고객의 요구에 맞게 맞춤화할 수 있으며 진공 응용 분야에 사용하거나 비자성 재료로 제작할 수 있도록 주문할 수 있습니다.