상세설명
배기량 : 최대 102 mm
분해능 : Down to 1 nm
구동력 : 최대 3 N
정지 상태에서 자동 잠금
최대 속도 : 200 mm/s
진공 호환
컴팩트하고 정밀한 선형 피에조 스테이지. 설치가 쉽고 작동이 쉽습니다.
Xeryon은 다양한 길이와 다양한 추가 옵션으로 다양한 정밀 리니어 스테이지를 제공합니다. 최대 100mm의 이동 범위로 가능한 응용 분야는 무궁무진합니다. 특허받은 Crossfixx™ 초음파 피에조 기술 덕분에 200mm/s의 이동 속도에 도달할 수 있어 Xeryon 정밀 리니어 스테이지는 시장에서 가장 빠른 정밀 스테이지가 되었습니다. Xeryon 리니어 스테이지는 스캐닝 설정에 완벽하게 적합하며 2% 미만의 속도 안정성으로 일정한 스캐닝 속도를 제공합니다.
당사의 모든 단계는 설치가 쉽고 직관적으로 사용할 수 있습니다. 스테이지를 컨트롤러에 연결하고 소프트웨어를 사용하거나 별도의 수동 제어로 안내하여 원하는 위치로 이동합니다.
Xeryon은 1.25μm의 분해능에서 최대 1nm의 분해능까지 다양한 수준의 정밀도를 제공합니다. 각 모델에 대해 추가 옵션(예: 높은 진공 호환성)을 사용할 수 있어 스테이지를 SEM 또는 진공 챔버를 위한 완벽한 솔루션으로 만듭니다. 옵션인 초소형 케이지를 사용하면 스테이지에서 더 많은 이동 거리를 확보하여 볼륨 대 스트로크 비율을 한계까지 높일 수 있습니다.