MAPS-Q3는 평면에서 이동하는 물체의 운동을 측정하는 센서입니다.

ㆍ MAPS-Q3는 물체위의 측정점의 평면 좌표(x, y)와 Yaw 회전각(θ_z)를 측정합니다.

ㆍ 사용자는 이동물체의 관측점이 평면에서 어떤 궤적을 그리면서 이동하는지 알 수 있습니다.

MAPS-Q3 응용

ㆍ 스테이지 제어
MAPS-Q3는 평면이동 스테이지(XY 또는 XYθ)의 위치 측정과 제어에 사용할 수 있습니다. 특히 최종 위치에서의 정밀도가 중요한 정렬용 스테이지에 적용하면 구동오차의 영향을 제거하고 정확한 정렬이 가능합니다.

ㆍ 스테이지의 이동 오차 측정
스테이지의 평면 이동 오차 (진직도, 직각도, Yaw error, back lash, hysteresis 등)을 한꺼번에 측정할 수 있습니다. 만약 MAPS-Q3를 이용해 제어하는 스테이지라면 장비가 동작 중에 실시간으로 오차를 측정하고 분석할 수도 있습니다.

ㆍ 제어 변수 자동 교정
머신 비전과 같은 외부 기계와 스테이지를 연동하기 위해 머신 비전과 스테이지 좌표를 교정하는 것이 매우 간편합니다. 추가 장치가 필요 없으므로 기계의 구동 중에도 쉽게 교정할 수 있습니다.

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