상세설명
신뢰성
견고한 로브 디자인, 견고한 구조, 다양한 사용 조건에서 신뢰할 수 있음, 누설 방지, 가스 차단막 연결
고성능
우수한 체적 효율성, 높은 최대 진공도, 최대 10배까지 진공 시스템 성능 향상, 통합형 바이패스 밸브, 반도체 공정 등 중진공 및 고진공용으로 특화되어 설계
유연성
시스템 내의 모든 위치에 직결식으로 장착 가능, 모든 보조 펌프 유형의 성능 향상, 수직 또는 수평 배출 기능
신뢰성
견고한 로브 디자인, 견고한 구조, 다양한 사용 조건에서 신뢰할 수 있음, 누설 방지, 가스 차단막 연결
고성능
우수한 체적 효율성, 높은 최대 진공도, 최대 10배까지 진공 시스템 성능 향상, 통합형 바이패스 밸브, 반도체 공정 등 중진공 및 고진공용으로 특화되어 설계
유연성
시스템 내의 모든 위치에 직결식으로 장착 가능, 모든 보조 펌프 유형의 성능 향상, 수직 또는 수평 배출 기능