상세설명
작동 범위 : 모듈 46 "~ 57"(이중 척 스테이지)
가이드 : LM 가이드
적용 모터 : 코어리스 타입 리니어 모터
컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
주요 특징들
탁월한 속도 안정성 : 스캔 동작
고 강성 및 안정된 시스템
고도의 메커니즘 및 제어 보장
효율적인 공간 활용
미세 진동을 위한 방진 설계
작동 범위 : 모듈 46 "~ 57"(이중 척 스테이지)
가이드 : LM 가이드
적용 모터 : 코어리스 타입 리니어 모터
컨트롤러 : ACS, U-mac, 기타 제어기
주요 특징들
탁월한 속도 안정성 : 스캔 동작
고 강성 및 안정된 시스템
고도의 메커니즘 및 제어 보장
효율적인 공간 활용
미세 진동을 위한 방진 설계