○ 최대 속도 2.5m/s, 가속도 2.5G로 고속화 실현
○ 높은 반복위치정도 ±2μm
○ 독립적인 복수 슬라이드 구동 가능
○ 리테이너 타입 LM 가이드 적용
○ 다양한 리니어 모터 모듈 적용 가능
○ 콤팩트한 구조
○ 최대 스트로크 30m