상세설명
○ X,Y,Θ 자유도를 가진 모듈을 구성하여 직선 이동 및 회전 운동이 가능
○ 고강성 및 고정밀 위치 제어 구조
○ 콤팩트한 사이즈와 낮은 높은 구현
○ 톱테이블과 베이스 중공 구조로 광학 시스템 적용 가능
○ 모듈의 수량, 배치 등을 통해 대형 사이즈 대응 가능
○ X,Y,Θ 자유도를 가진 모듈을 구성하여 직선 이동 및 회전 운동이 가능
○ 고강성 및 고정밀 위치 제어 구조
○ 콤팩트한 사이즈와 낮은 높은 구현
○ 톱테이블과 베이스 중공 구조로 광학 시스템 적용 가능
○ 모듈의 수량, 배치 등을 통해 대형 사이즈 대응 가능