[Equipment List]

VTS, VSP-601, Magnetron Sputtering System

안녕하세요.

중고 반도체, 연구 장비, 각종 산업 장비 및 부품을 거래하는 세미스토리 입니다. 오늘 소개해드릴 장비는 마그네트론 스퍼터 장비 입니다.

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VTS의 VSP-601모델은 연구·소량 생산용으로 설계된 Magnetron Sputtering System으로 고진공 환경에서 다양한 금속과 산화물 박막을 균일하게 증착할 수 있는 장비입니다. 이 시스템은 플라즈마를 이용해 타겟 재료를 이온화하고 이를 기판 표면에 증착하는 물리적 기상 증착(PVD) 방식으로 작동하며 전자부품, 반도체, 센서, 광학 코팅, MEMS 소자 등의 연구개발 분야에서 폭넓게 사용됩니다.

일반적으로 DC 및 RF 전원을 모두 지원해 금속뿐 아니라 산화물·질화물·탄화물 소재의 박막 증착이 가능하며 다중 타겟 소스 구성으로 다층 박막 제작이나 합금 조성이 용이합니다. 또한, 서브스트레이트 히터와 회전 스테이지를 장착해 기판 온도를 500~700 ℃ 수준까지 제어하며 균일한 막질을 확보할 수 있고, 플라즈마 클리닝, 샤워가스 분사, 로드락 챔버 같은 옵션을 통해 공정 오염을 최소화하고 생산성을 높일 수 있습니다. 다양한 가스 유량을 MFC로 정밀하게 제어할 수 있어 연구와 맞춤형 증착 공정 개발에 매우 적합한 장비입니다.

[EQUIPMENT SPEC]

현 장비는 화성 공장에서 둘러보실 수 있으며, 위 장비에 관심이 있으시거나 기타 문의 사항이 있으실 경우 언제든지 연락 부탁 드립니다.

(찾으시는 장비가 없으실 경우, 대체 장비 소개도 가능합니다)

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세미스토리는 글로벌 네트워크를 바탕으로 반도체 중고 장비 매입/매각을 전문으로 하며, 연간 수 백 대의 장비를 거래하는 플랫폼 비즈니스를 운영하고 있습니다. 수원 본사를 거점으로 장비를 보관하는 공장을 보유하고 있습니다.

항상 합리적인 가격으로 고객을 만족 시킬 수 있도록 노력하는 세미스토리가 되겠습니다 :)

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