본 장치는 각종 연구용으로 개발된 분사 도포 방식의 박막 성형 목적 자동 정밀 Spray Coater로 FPD 각종 제막, MEMS용 PR Coating, 연료전지 및 태양전지, 전극, CNT(탄소나노튜브) 용액을 활용하여 마이크로 및 나노미터급의 극미세 박막 도포가 가능

Coating System

· 정전하 스프레이 코팅

· 외부용액 공급방식 스프레이 코팅

· 도료공급 시스템

· Liquid Pump : 마이크로 기어펌프 Motor 회전수 제어

Spray Nozzle

· 오리피스직경 0.5mm

· Air ATOMIZING (이류체)

· X,Y,Z축 모터엑츄에이터 적용

· 초 저압으로 소량에서 대량 분무 자유자재 대응

· 미립자 분무가 가능하며 토착효율이 좋다

· 사용목적에 따라 nm급 박막도포 가능

· Liquid 공급 : 정밀 정량 마이크로 기어펌프

Specification

· Control Display : LCD Touch Display

· Coating Type : Manual & Auto Control

· Material : SUS, AL(경질 표면처리), Steel(Powder Coating)

· 2류체형 스프레이 시스템 (저압분사방식 )

· Spray Nozzle Speed : ~ Max. 300㎜/sec

· X축 motor-stage(5상 stepping motor)

· Y축 motor-stage(5상 stepping motor)

· Z축 motor-stage(5상 stepping motor)

· Air-Knife 폭 : 300㎜ 장착후 사용가능 (옵션)

· Spray Coating

· Spray Coating Space : ~ Max A3

· Spray Nozzle : Air Mist Nozzle (오리피스 = ∅0.5 )

· 이중 분사 Nozzle System

· 초미량부터 정밀분무가 가능함

· Plate Type : Vacuum & Heating Plate

· Plate Dimensions : W503mm × D316mm

· Polishing 정밀가공 처리후 경질 표면처리

· Suction Hole 직경 : 1.0Ø / Hole 간격 : 20mm

· Vacuum Pump : 650mmHg , Set Valve 포함

· Temp. Range : +상온 ℃ ~ 180 ℃

· Liquid Tank : 장착형 50ml × 2ea (A용제, B용제)- 외부용액통 옵션가능

· Precision Regulator, 안전 장치