본 장비는 웨이퍼 전용 Spray LBL (Layer-by-Layer) 다층 코팅장비로써 좌측 챔버 3열 Spray system, 중앙 웨이퍼 자동 로딩 언로딩 시스템 적용(정밀구동 기구를 통해 고정밀도의 동작을 실현) 우측 챔버 3열 Spray system으로 총 6-Nozzle이 적용된 Spray LBL (Layer-by-Layer) 다층 코팅장비

Features

사용자 중심의 Interface(조작이 쉽고 단순함)

Control Display : PLC TOUCH 10인치 Digital Display

Control Type : Manual & Auto Control

웨이퍼 LOADING & UNLOADING 엘리베이터 시스템

좌측 챔버 3열 Spray system

우측 챔버 3열 Spray system

Heating Plate : (Temp. Range) +상온℃ ~ max. 450℃

초미량부터 정밀분무가 가능, 박막 Coating

개별 정밀 정량 마이크로 기어 펌프를 독립 적용하여 정밀 분사가 가능

Liquid System

· Liquid Pump : 마이크로 기어펌프

· Motor : 5상 stepping 회전수 제어

· Tank Material : SUS

· Tank capacity : 3ℓ

· 주재 Tank & 세정 Tank 각 1EA

· Liquid Supply Line : 압력게이지, 에어 유니트, 드레인밸브등

· Control : Main System 연동