상세설명
ALD, MOCVD와 같이 Powder가 많이 발생되는 공정에서 Powder가 Pump쪽으로 배기 되면서 상대적으로 주변 온도 보다 낮은 Flapper 위에 응고되어 Valve 동작 시 많은 문제를 발생 시킨다.
타사의 경우 Heating Jacket을 씌우지만, Flapper에는 열 전도가 원활이 이루어 지지 않다.
이러한 문제를 해결하기 위해 Valve Body 뿐만 아니라 Flapper 내부에도 Heater를 내장하여 Flapper에 Powder가 쌓이는 현상을 해결 하였다.
