상세설명
고진공펌프(Turbo, Cryo, Diffusion Pump)에 주로 많이 사용하고 역압에 견디는 밸브이다.
동작 원리는 Two stage 방법으로 First Stage로 Air Cylinder가 밸브 내부에 있는 Plate를 Sealing 부위까지 이동 시킨 후 Second Stage로 Plate가 비스듬이 올라가 Sealing 시켜주는 밸브이다.
Pneumatic Type은 Air로 Close(0%) 또는 Open(100%)시키며 Manual type은 손으로 밸브를 동작 시킨다.
