상세설명
삼우하이테크에서 제작하는 반도체 장비용 스핀들은 현재 두 분야에서 사용되고 있습니다.
반도체 웨이퍼 소재인 쿼츠(석영유리)를 가공하기 위한 쿼츠 가공용 스핀들과 가공된 웨이퍼를 정밀하게 연마하기 위한 웨이퍼 연마용 스핀들입니다.
쿼츠 가공용 스핀들은 가공성을 높이기 위해 강성이 좋은 볼베어링을, 연마용 스핀들은 정밀성을 높이기 위해 에어 베어링을 사용하고 있습니다.
이외에도 다양하고 특수한 반도체용 스핀들을 주문제작하고 있습니다.
사양
| Housing diameter(Ø) | 165 |
|---|---|
| Housing material | Stainless steel |
| Rated power(S1)kw | 4.5 |
| Max speed(rpm) | 6,000 |
| Max frequency(Hz) | 200 |
| Rated torque(Nm) | 7 |
| Rated current(A) | 18 |
| Motor poles | 4 |
| Tool change | manual |
| Tool interface | straight |
| option | Flange |
| Cooling system | water / oil |
| Bearing lubrication | Air bush |
| Weight(kg) | 확인 |
| Cup wheel(Ø) | 200 |
도면
