홀마크의 스핀 코팅 장치, 모델 번호: HO-TH-05는 스핀 공정 매개변수가 잘 제어된 연구실에서 소형 기판을 스핀 코팅하는 전용 테이블 상판 시스템입니다. 스핀 헤드 액추에이터는 정확한 속도와 가속도 제어가 가능한 정밀 DC 서보 모터입니다. 오일리스 진공 펌프로 구동되는 진공 척이 기판을 회전 헤드에 고정합니다.





이 장치에는 스핀 프로세스를 프로그래밍할 수 있는 키보드와 LCD가 있는 사용자 친화적인 전면 패널이 있습니다. 스핀 지속 시간, 스핀 속도, 가속도 등은 모두 전면 패널을 통해 프로그래밍할 수 있는 매개 변수입니다. 이 장치는 소형이며 275 x 400mm의 발자국 이내에 장치에 내장된 전자 장치로 완성됩니다. 장치의 모든 구성 요소는 부식 방지되어 클린 룸과 호환됩니다. 스핀
챔버는 나일론으로 구성되어 있습니다. 챔버 상단의 투명한 덮개는 스핀오프 용액을 내부에 보관하여 주변을 보호합니다





스핀 코팅은 박막 제조를 위해 수십 년 동안 사용되어 왔습니다. 일반적인 공정은 작은 유체 수지 웅덩이를 기판 중앙에 증착한 다음 기판을 고속으로 회전시키는 것입니다. 구심 가속도로 인해 수지가 기판 가장자리로 퍼지거나 결국에는 표면에 수지 박막이 남게 됩니다. 최종 필름 두께 및 기타 특성은 수지의 특성(점도, 사율, 표면 장력 등)과 스핀 공정에 선택된 매개변수에 따라 달라집니다.