NFC 500/600 Mass Flow Controller

NFC 500/600 Mass Flow Controller는 Gas Bottle에서 나오는 Gas를 고객이 원하는 일정한 유량의 값으로 흐르게 하기 위한 장치이다.
단위로는 SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minutes)을 사용한다.
NFC 500/600 Mass Flow Controller는 일반적으로 산업용을 포함하여 반도체 공정, FPD, LED등 모든공정에 사용할 수 있도록 설계되어 있다.
Control 범위로는 10SCCM~50SLM 까지 가능하며, User 필요에 따라 Range를 설정하여 사용하면 된다.

● NFC 500/600 Mass Flow Controller의 Full Scale Range는 10sccm-50slm 입니다.
● Full Scale의 1%에해당하는 오차를 가지고 있습니다.
● Warm-Up시간이 거의 필요하지 않는 제품으로 설계되어 있습니다.