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모델명 Sputter

제품분류 부품/소재

업체명 (주)코리아스타텍

전화번호 0504-0667-2945

등록일 24.10.07

Meca Clamp를 대체
Glass의 Slip 방지
Glass 냉각효과

높은 체적저항을 가진 Bi-polar Type
유전층 : 100~200 ㎛
전극제작 체적화를 통한 높은 척킹력
고전압 저온공정 사용 및 높은 수명
Meca Clamp 대체효과
1~8G 다양한 Size 대응