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모델명 Dry Etch

제품분류 부품/소재

업체명 (주)코리아스타텍

전화번호 0504-0667-2945

등록일 24.10.07

Plasma Etching공정
Cooling Gas를 통한 Glass 온도 제어

높은 체적저항을 가진 Mono-polar Type
유전층 : 400~800 ㎛
허용 Backside Gas압력 : 2~5Torr
Emboss : Ø0.3 x 1.0mm Pitch
내플라즈마 Coating 및 Dual Type
1~10.5G 다양한 Size 대응