DRY COOLING COIL의 개요

반도체 공장에 있어서 그 FAB 내부에서 요구하는 온·습도조건은 그 생산 제품의 정밀도와 비례하여 극히 높은 수준의 정밀제어가 요구 되어진다. FAB에 공급되어지는 공기는 FAB으로 부터의 Return Air와 Out Air로 부터 공급되어지는 신선 공기를 Mixing 하여 Dry Cooling Coil은 Chilled Water와 Supply측의 2-Way Control V/V를 이용하여 FAB이 요구하는 실내 온도조건을 지속적으로 유지, 공급해주는 열교환 장치이다.

DRY COOLING COIL의 특징

• 1.DRY COOLING COIL의 FIN MATERIAL은 반드시 COPPER FIN으로 제작 되어야 한다. 일반적인 공기 조화용 COIL FIN MATERIAL은 ALUMINIUM FIN으로 제작, 설치 하지만 BIO CLEAN ROOM과 같이 고청정도를 요구하는 SYSTEM에 있어서는 운전시간이 지속됨에 따라 ALUMINIUM FIN의 경우 FIN 표면부식으로 인해 은분이 FAB에 유입 요구하는 청정도에 악영향을 줄 수 도 있다.
• 2.COIL & COIL FRAME 설치완료후 반드시 모든 연결부위 및 개구부는 무초산 SEALANT로서 완전 SEALING 처리, 마감 하여야한다.
• 3.DRY COOLING COIL의 WATER FLOW는 COUNTER FLOW로 설계 한다.
• 4.DRY COOLING COIL의 CIRCUIT는 반드시 FULL CIRCUIT로 설계하여야 한다.

  DRY COOLING COIL SHOP DWG.

• 1) 입수된 건축 LAYOUT상의 각 ZONE별 PARTITION을 정확히 확인한다.
  2) 각 ZONE별 풍량, 열량, 입/출구수온, 입/출구 공기온도및 FAN ROOM 유지온도를 확인 한다.
  3) COIL 설치수량을 산정한후 COIL 통과풍속을 확인, 처리 열량과 비교 검토하여 승인을 득한다.
  4) COIL BASE DESIGN이 완료된후 설치된 FRAME을 실측한다.
  5) SHOP DWG에 착수한다.
  6) SHOP DWG이 완료되면 승인을 득한다.
• 7) 승인을 득하면 SHOP DWG을 기준하여 공장제작을 의뢰한다.
  * 공장제작 의뢰시 하기 항목이 포함 되어야 한다.
  – 공정표 (시공 MASTER SCHEDULE)
  – 사용자재의 명칭, 규격, 제조회사, 사용처
  – 제품의 보관/포장기준 투입시기
  8) 입고 전에 검수일정에 따라 검수를 실시 한다.