상세설명
레티클 전용 용기인 RSP200 및 RSP150을 위한 전자동 세정 시스템입니다.
본 장치는 높은 세정 성능을 탑재하여 나노 수준의 파티클 제거를 실현하였습니다.
정밀 세정, 공간 절약을 메인 컨셉으로 효율적인 생산환경 구축을 지원합니다.
제품개요
- 작은 footprint 설계
- 독자적인 세정기술에 의한 초정밀 세정
- 고효율 건조방식에 의한 완전건조를 실현
- 전자동 POD 개폐에 의한 교차 오염 방지
- 각 메이커의 RSP-200/150 대응(SR-200/150)
- 로봇핸드 셀프 클리닝 시스템 내장
