제품의 특장점

미소 액체 유량계 Model F7M은, 열식 MEMS 센서 및 내식성이 높은 석영 유리로 만들어진 유로를 결합하여,
기존 측정 방식에서는 재현성 높은 측정이 어려웠던 수mL/min의 미소 유량 계측을 실현했습니다.
유체 상태의 변화(기포, 맥동, 유체 온도 등)의 영향을 받지 않으며, 계측 대상 유체의 보정이 용이(유체의 열전도율로 보정)함이 개발 컨셉입니다.
순시 유량 · 적산 유량을 계측함으로써, 펌프 회전 수, 중량 측정, 유체 공급 시간 관리 등의 대체 수단으로부터 치환하여
보다 확실한 계측 수치에 따른 제조 공정의 품질 관리와 공정 이상 감지가 가능합니다.