제품소개

삼성전자의 반도체 공정에 특화된 이동식 국소배기장치로서 휘발성유기화합물(VOCs, Volatile Organic Compounds)을 중앙 스크러버로 이송하는데 사용됩니다.

주요특징

• 삼성전자 반도체 공정용 이동식 국소배기장치

  • 삼성전자 납품용으로 개발된 반도체 공정에 특화된 이동식 국소배기장치입니다.
  • 플렉시블 암이 장착되어 있으며 배출 호스를 내장하고 있어 별도의 후드 및 배관공사 없이 사용할 수 있습니다.
  • 4개의 중량바퀴가 달려있어 어떤 방향으로도 쉽게 이동할 수 있습니다.

전용 플렉시블 암

• 암의 재질이 SUS 316L로 SUS 304보다 높은 등급을 사용하여 소성가공성이 우수하며 입계부식 등의 내식성, 용접성, 피팅에 대한 부식저항성 (점부식)이 우수합니다.
• 장착되어 있는 후드는 탈부착이 가능하여 다양한 형태의 후드를 장착할 수 있습니다.
• 암은 수평에서 360도 회전하고 고정시킨 그대로 암 각도가 단단하게 유지가 됩니다.
• 내부관절은 심플한 구조로 공기의 저항이 적고 입자의 이송을 방해하지 않습니다.