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모델명 TM 챔버 & 회전 지그

제품분류 전자/반도체/IT/컴퓨터

업체명 (주)옴니엔지니어링

전화번호 054-475-0346

등록일 24.07.18

◈ 디스플레이 장비
TM 챔버 & 회전 지그

-. 프로세스 챔버/로드락 챔버 로 글라스 를 분배해 주는 연결 챔버.
-. G6~G8 대응 (SUS 챔버, 하부 제관구조)
-. Chamber & Lid 내부의 주기적인 유지보수 Rotation 시스템
-. Vacuum Align System (공정 압력 : - 650 Torr )