특   징

• 이중 충돌 방지 : 소프트웨어 ZSTOP 및 하드웨어 전자 센서, 외부 충돌 방지 전자 신호 송출.

• 30mm Z 방향 스트로크 : 고객이 별도의 Z축 변위 장치를 추가할 필요가 없음.

• 대물 렌즈 4방향 전동 틸트 : 피치와 요 4 방향 전동 틸트 조절 장치는 고객이 테이블 제작에 있어 어려움을 크게 줄일 수 있음.

• 보조 개발 소프트웨어 패키지 : 고객이 보조 소프트웨어 개발을 위한 패키지를 제공하고, 측정에서 분석까지 전 과정을 완료하는 데 편리한 소프트웨어 패키지를 제공

사   양​

WX100

​개발 전용 모듈

광원 : 백색 / 녹색 LED

대물렌즈 : 10x (옵션 : 20x, 50x)

비디오 시스템 : 1024×1024

표준 시야 : 0.98×0.98 mm

대물렌즈 회전 대 : 단일 경통

수평 조절 장치 : ±2°, 전동

Z축 이동 범위  : 30mm 전동

Z축 스캔 범위 : 10mm (대물 렌즈 배율에 따라 다름)

Z축 해상도 : 0.1nm

샘플 반사 율 : 0.05%~100%

소프트웨어 : Xtreme Vision 3D

외형 사이즈 : 230×200×380mm

단차 측정 : 표시 오차 : 0.5%,  반복성 0.1% 1σ

거칠기 RMS 반복성 : 0.005nm

설치 환경 : 강한 자기장 및 부식 성 가스 없는 곳

                  : 환경 진동 : VC-C 이상

                  : 작동 온도 : 15°C~30°C, 온도 변화 < 1°C/15분

                  : 공압 : 0.6Mpa , 직경 6mm

                  : 상대 습도 : 5%-95%RH, 무 결로

                  : 전원 공급 장치 : 330W