사   양​

W5

5축 회전 스테이지 : x, y, z, 요, 회전

X, Y 스테이지 : 측정 범위 300x300mm

                        : 적재 하중 20Kg

A/B 수평 테이블 : 요 축 ±90°

                             : 회전 축 360°

                             : 적재 하중 10kg

                             : 전동 제어 (프로그래머블) 

광원 : 백색 / 녹색 LED

대물렌즈 : 10x (옵션 : 2.5x, 5x, 20x, 50x, 100x)

광학 줌 : 0.5x (0.75x, 1x)

비디오 시스템 : 1024×1024

표준 시야 : 0.98×0.98 mm

대물렌즈 회전 대 : 3-구 전동 제어

소프트웨어 : Xtreme Vision 3D

수평 조절 장치 : ±5° 수동

Z축 이동 범위  : 100mm 전동

Z축 스캔 범위 : 10mm

Z축 해상도 : 0.1nm

수평 해상도 (x,y) : 0.1μm

샘플 반사 율 : 0.05%~100%

단차 측정 : 표시 오차 : 0.5%,  반복성 0.1% 1σ

거칠기RMS반복성 : 0.005nm

설치 환경 : 강한 자기장 및 부식 성 가스 없는 곳

                  : 환경 진동 : VC-C 이상

                  : 작동 온도 : 15°C~30°C, 온도 변화 < 1°C/15분

                  : 공압 : 0.6Mpa , 직경 6mm

                  : 상대 습도 : 5%-95%RH, 무 결로

                  : 전원 공급 장치 : 330W